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发布:2024/5/2 16:53:53 来源:shxj365


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上覆坩埚盖2的坩埚3,坩埚为钨坩埚,坩埚下面的支柱为钨支柱,为了保温坩埚盖2上覆保温屏9;

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关电源是利用现代电力电子技术,控制关管通和关断的时间比率,维持稳定输出电压的一种电源,关电源一般由脉冲宽度调制(PWM)控制IC和MOSFET构成。随着电力电子技术的发展和创新,使得关电源技术也在不断地创新。目前,关电源以小型,轻量和率的特点被广泛应用几乎所有的电子设备,是当今电子信息产业飞速发展不可缺少的一种电源方式。据统计,上硅单晶的产量中70%~80%是用直拉法生产的。再由齿轮齿条机构带动的。在单晶炉中,要求提拉单晶硅的提拉杆不仅能以某一期望线速度V向上(下)运动,而且当提拉负载增大引起线速度为零时,提拉杆能保持其后位置而不上下滑动。在实际单晶炉中,对提拉控制系统提出的主要技术指标是,提拉速度在0.2~10.0mm/h范围之内实现无级可调。99%以上的集成电路是硅集成电路,生产集成电路所需要的单晶硅,是在硅结晶生长始时,用提拉的法制成的。在单晶硅生产过程中,对晶体的提拉速度有十分严格的要求,从某种程度上讲提拉速度的控制好坏将直接影响到晶体的质量。对单晶硅生产过程中的提拉速度控制系统进行研究有实际意义。

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